收藏本站
        《中国陶瓷》 2020年04期
        收藏 | 投稿 | 手机打开
        二维码
        手机客户端打开本文

        GZO薄膜溅射工艺对性能的影响研究

        姚婷婷  仲召进  杨勇  李刚  金克武  王天齐  马立云  
        【摘要】:透明导电氧化物(TCOs)薄膜近来发展迅速,旨在研究GZO薄膜溅射功率变化对其结晶性能、表面形貌、电学性能以及光学性能的影响。研究结果表明,在采用直流磁控溅射制备GZO薄膜时,存在一个较佳溅射功率范围,有利于促进GZO薄膜粒子扩散迁移,生长及结晶性能的提升,薄膜内载流子浓度和霍尔迁移率的增加,优化薄膜电学性能。同时GZO薄膜表面由蜂窝状形貌转变为颗粒状形貌,薄膜透光性能相对较好。

        免费申请
        中国知网广告投放
         快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
        • 400-819-9993
        • 010-62791813
        • 010-62985026


              天天中快三